清洁度检测仪利用共焦法的测量原理，即激发光线和被激发而产生的光线在同一平行辐射轨迹上。因此，探头的灵活位和在线测量都易于实现。基于这种测试原理，对于构成中不含或者含有轻微荧光性原料的零件，清洁度检测仪都以检测其清洁度。