新品介绍:晶圆表面用二氧化硅纳米粒子

产品名称：

SiO2微粒子标准溶液

纳米级别二氧化硅

SiO2标准粒子

晶圆表面用二氧化硅

NanoSilica™ 微粒子标准溶液是由MSP Corporation制作的高度均匀尺寸SiO2微粒子浓缩水溶液，微粒子尺寸从18nm到200nm都选择，是市面上理想、质量较高的校正标准，适用于新一代的晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统。

   先进的半导体检查技术已经发展到小于30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即做晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统的校正，但新一代的检查系统使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能检查小于20nm的污染或缺陷，当UV光重复打在PSL球形化粒子上，将影响到PSL球形化粒子的质量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下拥有稳的质量，因此SiO2微粒子是较好的替代产品。

NanoSilica™ 微粒子标准溶液是使用有的SiO2合成技术，以做到如PSL球形化粒子一样的尺寸分布，从目前小的微粒子尺寸来看，NanoSilica™ 微粒子标准溶液是尺寸均匀，适合做尺寸大小峰值的量测的工具。

NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子标准溶液是MSP Corporation透过National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到标准单位的产品，加上ISO 9000与SEMI的认证，让良率提升及表面检查和缺陷评估有所依据。

NanoSilica™ 微粒子标准溶液使用15-mL滴，让使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷标皆标示产品编号、生产编号、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高宽及有效期限，而且提供NIST-traceable证明书与Material Safety Data Sheet (MSDS)说明书。